電子工業VOCs廢氣治理方案
電子(zǐ)工業VOCs廢氣主要來自於半(bàn)導體設備、電子元器(qì)件、電子組件、平板顯示器、整機機殼的表麵塗層工藝使用的溶劑型塗料,清洗工藝使用有機脫脂劑、脫水劑(jì),感光成像工藝中的(de)光刻膠稀釋劑、顯影劑、脫(tuō)膠劑、液態阻焊膜劑、去膜劑等使用有機溶劑的工藝環節。電子工業行業涉及VOCs產生較多的(de)主(zhǔ)要是光伏製造和電子元(yuán)件製造。那電子工業VOCs廢氣如何治理呢?
電子工(gōng)業廢(fèi)氣VOCs排放種類多、組分複雜,通常具有(yǒu)排放(fàng)流量(liàng)大、濃度低的特(tè)點,且常含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。根據電子工業車間環境的不同,采用的核心廢氣治理技(jì)術其中:
1、水(shuǐ)性(xìng)塗料(liào)工藝廢氣(qì):采用噴淋吸(xī)收(shōu)工(gōng)藝(yì)進行處理。
2、含非水溶性VOCs廢氣:不得僅采用水或水溶液噴淋吸收(shōu)方式處理。
3、溶劑型塗裝工序廢氣:采用噴淋吸收工(gōng)藝進行預處理,去除漆霧(wù)。
4、中、低(dī)濃度VOCs廢氣:采用“吸附濃縮-再生回收”或“吸附濃縮-燃燒”等組合技(jì)術處理。
5、高濃度VOCs廢氣:優(yōu)先采用冷凝、吸附回收等技術,並輔以燃(rán)燒技術實現達標排放及VOCs減排。
複雜的電(diàn)子工業VOCs廢氣治理方案(àn)一般采用(yòng)組合式(shì)處理係統,結合多種處理技術,如預處理、活性炭吸附和催化燃燒等,以滿足複雜廢(fèi)氣處理需求。
這(zhè)些方法各有優(yōu)勢,應根據廢氣濃度、成(chéng)分和處理(lǐ)需求選擇合適的技術(shù)。通過有效的廢氣治理(lǐ)措施,可以(yǐ)降低VOCs廢氣的排放濃度,達(dá)到國家和地方的(de)排放標準,從而保護環境、淨(jìng)化空氣,並保(bǎo)障工(gōng)作人員的健康。